關於愛發科草莓视频APP下载官方在线油的工作原理說明

無油幹式機械愛發科草莓视频APP下载官方在线油(又簡稱幹式機械泵)是指泵能從大氣壓力下開始抽氣，又能將被抽氣體直接排到大氣中去，泵腔內無油或其他工作介質，而且泵的極限壓力與油封式草莓视频APP下载官方在线同等量級或者接近的機械草莓视频APP下载官方在线。

目前，真空行業使用的大多數機械草莓视频APP下载官方在线都是用愛發科草莓视频APP下载官方在线油、水或其它聚合物等流體充當泵的工作介質，在泵內起冷卻、密封、潤滑等多種作用。隨著科學技術的發展以及真空應用領域的擴大，原有的機械草莓视频APP下载官方在线及其組成的抽氣係統出現了兩個急需解決問題：一是泵的工作介質返流汙染被抽容器；其次，由於某些工藝過程中的反應物質使草莓视频APP下载官方在线內的介質嚴重變質，使泵不能正常工作。

對於普通的無油真空係統愛發科草莓视频APP下载官方在线油來說，雖然可用油封式草莓视频APP下载官方在线加上冷阱或吸附阱之類附件來防止返流，但不能徹底解決問題，而且使係統顯得複雜。而使用適當型式的幹式機械草莓视频APP下载官方在线，則可以達到理想的使用效果。

愛發科草莓视频APP下载官方在线油的應用是廣泛的，主要有以下幾個方麵：

1)低壓化學氣相沉積中的多晶矽製備工藝中；

2)半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；

3)除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的幹式機械草莓视频APP下载官方在线可以滿足要求；

4)在化學工業、醫藥工業、食品工業中的蒸餾、幹燥、脫泡、包裝等，要防止有機溶劑造成汙染，適合用幹式草莓视频APP下载官方在线；

5)用做一般無油清潔真空係統的前級泵，以防止油汙染。